Meicníocht d'fhás scannán nítríde sileacain
Cothromóid Fáis LPCVD:
Is í an chothromóid d'fhás PECVD:
Ón dá fhigiúr thuas, is féidir linn a fheiceáil:
Soláthraíonn SIH4 an fhoinse IR, agus soláthraíonn N2 nó NH3 an fhoinse N.
Mar sin féin, mar gheall ar theocht ard imoibriúcháin LPCVD, is minic a bhaintear adaimh hidrigine as an scannán nítríde sileacain, mar sin tá an t -ábhar hidrigine san imoibrí íseal. Tá nítríd sileacain comhdhéanta den chuid is mó de ghnéithe sileacain agus nítrigine.
Tá an teocht imoibriúcháin PECVD íseal, agus is féidir adaimh hidrigine a choinneáil sa scannán mar fhotháirge den imoibriú, ag áitiú suíomhanna na n-adamh agus na n-adamh Si, ag déanamh an t-ábhar hidrigine sa scannán níos airde, rud a fhágann nach bhfuil an scannán ginte dlúth.
Cén fáth a n -úsáideann PECVD NH3 go minic chun foinse nítrigine a sholáthar?
Tá bannaí aonair NH3 i móilíní NH3, agus tá bannaí triple N2 i móilíní N2. Tá Ninneach níos cobhsaí agus tá fuinneamh bannaí níos airde aige, is é sin, tá teocht níos airde ag teastáil chun go dtarlóidh an t -imoibriú. Mar gheall ar fhuinneamh íseal NH NH₃, is é an chéad rogha é le haghaidh foinsí nítrigine i bpróisis PECVD ísealteochta.
