Is iad sliseog snasta an táirge is mó a úsáidtear, agus déantar táirgí sliseog sileacain eile a tháirgeadh trí phróiseáil thánaisteach ar bhonn sliseog snasta.
Is iad sliseoga snasta na sliseoga sileacain is bunúsaí agus is mó a úsáidtear. Is féidir sliseog snasta a úsáid go díreach chun feistí leathsheoltóra a dhéanamh, a úsáidtear go forleathan i sliseanna cuimhne agus feistí cumhachta, agus is féidir iad a úsáid freisin mar ábhair fhoshraithe le haghaidh sliseog epitaxial, sliseog sileacain SOI agus cineálacha eile sliseog sileacain.
Le crapadh leanúnach ar leithead líne tréithiúil na gciorcaid chomhtháite agus cruinneas níos míne na liteagrafaíochta, beidh an míchothromas fíorbheag ar an sliseog sileacain ina chúis le dífhoirmiú agus díláithriú na ngrafaicí ciorcaid chomhtháite. Tá ceanglais agus dúshláin níos airde agus níos airde os comhair na teicneolaíochta déantúsaíochta wafer sileacain. Tá tionchar díreach ag méid na gcáithníní dromchla sliseanna agus glaineachta freisin ar tháirgeacht táirgí leathsheoltóra.
Dá bhrí sin, tá an próiseas snasta an-tábhachtach chun feabhas a chur ar Maoile agus glaineacht an dromchla wafer sileacain. Is é an príomhphrionsabal ná planarization an dromchla wafer sileacain leathsheoltóra a bhaint amach agus an garbh a laghdú tríd an gciseal damáiste iarmharach a bhaint ar an dromchla próiseáilte.
Cá n-úsáidtear pillíní snasta sliseog sileacain?
Jul 16, 2023Fág nóta











