Teicneolaíocht phróiseála de wafer sileacain mhonacrystalline

Beathú → Leáphointe → Fás Muineál → Fás Gualainn → Fás Isiméadrach → Fás Eireaball
(1) Beathú: Cuir an t-amhábhar polysilicon agus na neamhíonachtaí isteach sa bhreogán Grianchloch. Braitheann cineál na n-eisíontais ar an gcineál N nó P den fhriotaíocht. Is iad na cineálacha neamhíonachtaí ná bórón, fosfar, antamón agus arsanaic.
(2) Leáphointe: Tar éis amhábhair polysilicon a chur isteach sa bhreogán Grianchloch, ní mór an foirnéis fáis criostail a dhúnadh agus a aslonnú, ansin é a líonadh le argón ard-íonachta chun raon brú áirithe a choinneáil, agus ansin cumhacht an téitheoir graifít a chasadh air. teas go dtí an teocht leá (1420 céim), tá an t-amhábhar polysilicon leáite.
(3) Fás muineál: nuair a bhíonn teocht an leá sileacain cobhsaí, déan an criostail síl a thumadh go mall isteach sa leá sileacain. Mar gheall ar an strus teirmeach nuair a bhíonn an criostail síl i dteagmháil leis an réimse leá sileacain, ginfear dislocations sa chriostail síl, agus ní mór deireadh a chur leis na dislocations seo trí fhás muineál. Is éard atá i gceist le fás muiníl an criostal síl a ardú go tapa, ionas go laghdaítear trastomhas an chriostail síl fhásta go méid áirithe (4-6mm). Ós rud é go ndéanann an líne dislocation uillinn leis an ais fáis, chomh fada agus a bhíonn an muineál fada go leor, is féidir leis an dislocation fás as an dromchla criostail, ag táirgeadh criostail le díláithriú nialasach.
(4) Fás ghualainn: Tar éis an muineál tanaí a fhás, ní mór an teocht agus an luas tarraingthe a ísliú ionas go n-ardóidh trastomhas an chriostail de réir a chéile go dtí an méid is gá.
(5) Fás trastomhas comhionann: Tar éis an muineál tanaí agus na guaillí a fhás, is féidir trastomhas an tinne a choinneáil idir móide nó lúide 2mm tríd an luas tarraingthe agus an teocht a choigeartú go leanúnach. Tugtar an chuid isodiameter ar an gcuid a bhfuil trastomhas seasta aige. Tógtar sliseoga sileacain mhonacrystalline ó rannóga ar thrastomhas comhionann.
(6) Fás eireaball: Tar éis an chuid trastomhas comhionann a fhás, má tá an tinne scartha ón dromchla leachtach láithreach, beidh an strus teirmeach ina chúis le díláithriú agus línte duillín sa tinne. Dá bhrí sin, chun an fhadhb seo a sheachaint, ní mór trastomhas an ingot a laghdú de réir a chéile go dtí go dtiocfaidh sé ina phointe géar agus go scarann ​​sé ón dromchla leachtach. Tugtar fás eireaball ar an bpróiseas seo. Tógtar an tinne criostail fhásta go dtí an seomra foirnéise uachtarach chun fuarú ar feadh tréimhse ama agus ansin tógtar amach é chun timthriall fáis a chríochnú.